Компания Lam Research, известный американский производитель производственного оборудования для выпуска полупроводниковых структур на пластинах, представила высокоточного мобильного робота Dextro, разработанного с учетом потребностей производителей микросхем.

Dextro - это мобильный робот с коллаборативным манипулятором.

• Робот способен установить расходные коомпоненты с точностью вдвое выше, чем при ручной сборке.
• Dextro способен затягивать болты вакуумных уплотнений с точном соответствии со спецификациями, снижая уровень ошибок на 5% по сравнению с ручным выполнением этой работы.
• Dextro способен безопасно очищать стенки камер от полимерных отложений без демонтажа оборудования.

Пока что робот совместим с инструментами для травления серий Flex F и Flex H, но в 2025 году компания намеревается расширить его совместимость с другими производственными установками.

Lam Research уже развернула роботов Dextro на нескольких передовых фабах в разных странах и теперь с уверенностью утверждает, что это снизило ошибки при обслуживании и позволило повысить показатель FTR (улучшенные результаты с первой попытки).

В Samsung о роботах Dextro отзываются так: "безошибочное обслуживание Dextro способствует улучшению стабильности производства и выхода продукции".

Решение не только повышает качество исполнения ряда производственных задач микроэлектронного производства, но также решает такую проблему, как нехватка квалифицированных инженеров и растущая сложность современного оборудования для изготовления пластин.

Этот кейс - безусловный шаг к полной автоматизации и безлюдному производству микроэлектроники. Стоит обратить внимание.

по материалам Tom's Hardware